真空镀膜机质量鉴定

真空镀膜机是一种需要在较高真空度下进行的镀膜设备，主要包括真空电阻加热蒸发、电子枪加热蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积、离子束溅射等多种类型。中科检测具备司法鉴定资质能力，开展真空镀膜机质量鉴定服务。

1、膜厚测量
膜厚是衡量镀膜质量的重要参数之一。根据不同膜的要求，选择合适的设备进行测量。
2、膜质分析
膜质是指镀膜材料的化学成分、晶体结构、氧化还原状态等。膜质分析可以更全面地了解镀膜质量，避免由于膜质问题导致的工艺不稳定或失效。
3、成膜率测试
成膜率是指蒸镀材料从源头到基材表面的传输效率，通常以百分比表示。选用合适的测试方法进行成膜率测试，可以有效地控制工艺参数，提高镀膜效率和质量。
4、附着力检测
附着力是指膜与基材之间的结合强度，是衡量镀膜质量的重要指标之一。常见的附着力测试方法包括摩擦法、剥离法、压痕法和钻孔法等。
5、表面形貌分析
表面形貌是指镀膜表面的光洁度、粗糙度、均匀性等特性。表面形貌分析可以对镀膜表面进行高分辨率的成像和粗糙度测试，进一步了解膜的质量和表面形貌特征。

GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件
GB/T 28786-2012 真空技术 真空镀膜层结合强度测量方法 胶带粘贴法
SJ/T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

某科技公司认为其采购的真空镀膜机不具备磁控镀膜功能，存在严重质量问题，不符合《加工定作合同书》的约定，遂与设备厂家产生纠纷。
受法院委托，本司受理对涉案真空镀膜机“是否存在质量问题”进行鉴定分析。
鉴定分析结果：
鉴定分析专家组对涉案真空镀膜机的相关资料、现场勘查情况进行了讨论和综合质量技术分析，作出以下建议和结论：
涉案真空镀膜机具有磁控镀膜功能，能够使用圆柱不锈钢靶、圆柱铬靶和圆柱铝靶三种靶材对手机盖板、有机玻璃（亚克力）、塑料勺子、不锈钢板和塑料圈等工件进行磁控镀膜。

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