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抛光液成分 分析介绍
抛光液是一种常见的表面处理材料，它的主要作用是去除表面污渍和残留物，使表面变得光洁、光亮，提高表面粗糙度。中科检测开展抛光液成分分析服务，具备CMA、CNAS资质认证。
抛光液成分 分析范围
多晶金刚石抛光液、氧化硅抛光液、氧化铈抛光液、氧化铝抛光液、碳化硅抛光液、锗抛光液、集成电路阻挡层抛光液等。
抛光液成分 分析项目
成分分析、主成分分析、杂质、硝酸含量、硫酸含量、盐酸含量、乙酸含量、水分等。
抛光液成分 分析标准
JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 —电感耦合等离子体原子发射光谱法
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