高效过滤器是一种用于捕集0.5um以上的颗粒灰尘及各种悬浮物的过滤设备，广泛应用于各种过滤系统的末端。

    高效过滤器检漏是确保洁净室设施中空气流通效率的关键步骤，主要目的是验证过滤器是否存在旁路渗漏或缺陷，如过滤器介质和密封框架上的小孔、其他损伤以及边框泄漏等，以确保终端高效过滤器的安装良好。

    高效过滤器检漏方法

    以下是几种常用的高效过滤器检漏方法：

    1)DOP法

    DOP法通过将DOP液体加热成蒸气，蒸气在特定条件下冷凝成微小液滴，形成单分散相气溶胶颗粒。通过光散射式光度计检测过滤器前后气样的浊度比来计算过滤器的过滤效率。

    2)粒子计数法

    粒子计数法使用粒子计数器作为检测仪器，通过喷雾法（冷生成）产生多分散气溶胶，与热生成DOP粒子相比，它们的材料相同但分散度和检测方法均不相同。

    3)最易穿透粒径(MPPS)法

    这是一种国际上高效过滤器的主流试验方法，通过大流量激光粒子计数器或凝结核计数器对过滤器的整个出风面进行扫描检验，可以测量过滤器的平均效率，同时比较各点的局部效率（渗漏试验）。

    4)钠焰法

    钠焰法通过将氯化钠水溶液喷雾、干燥形成质量中值直径约为0.4μm的氯化钠气溶胶作为试验尘，在过滤器前后进行含尘空气采样，并引到钠火焰光度计内，测出与含尘浓度相关的光电流值来计算滤料的透过率。

    5)计数扫描法

    计数扫描法使用大流量激光粒子计数器或凝结核计数器对过滤器的整个出风面进行扫描检验，不仅可以测量过滤器的平均效率，还可以比较各点的局部效率（渗漏试验）。

    6)看漏法

    看漏法通过将一端封住，另一端连接真空泵，充分吸气并将吸气管口盖住，观察漏光状况来确定漏点所在位置。

    7)气泡法

    气泡法通过在加压气体的作用下，将过滤器上可能出现的气泡识别出来。

    8)烟雾法

    烟雾法通过将低流量的烟引入到过滤器的进口，通过对烟雾扩散情况的观察来确定漏点位置。

    高效过滤器检漏标准

    1)中国国家标准：GB51110-2015洁净厂房施工及质量验收规范

    2)美国环境科学技术协会：IEST-RP-CC034HEPA与ULPA过滤器检漏试验

    3)国际标准化组织：ISO-14644-3计量和测试方法

    4)欧洲标准：EN1882-4过滤元件渗漏的检测（扫描法）