洁净室温湿度检测的目的是确认洁净室内温湿度在控制范围内, 对颗粒物控制有没有影响,因此温湿度检测属于洁净室检测的第三级测试。然而,由于大多数洁净室也是环境控制室,温湿度通常是一起测量的。
温湿度测量可分为一般测量和高级测量。一般测量仅是温湿度的实时数据,通常为单一检测数据,适用于温湿度要求较低的地方。高级测量是在测量点长期记录温湿度,以观察温湿度随时间的变化,确认湿度是否得到控制。高级测量适用于温湿度要求高的地方。
1.确认空调系统已经安装、测试、调整和平衡。空调系统的测试、调整和平衡可以平衡风量和水量,以满足设计要求,并为温湿度控制提供一个正确的运行环境,因此系统在测试前必须进行平衡检测。
2.根据洁净室的平面图,列出各种温湿度要求区域,使系统正常运行。该系统应在温湿度自动控制下运行至少24小时。
3.在温湿度检测时,每个房间至少有一个测试点,每个湿度控制区至少有一个测试点。例如,每个冷却盘管的控制范围应测量一点,测量高度为(高架)地板以上1.00米。
4.将温湿度传感器放在相同的位置,并在稳定后开始记录。
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